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Product System

產(chǎn)品體系

陶瓷基板激光打孔機(jī)

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陶瓷基板激光打孔機(jī)是目前應(yīng)用較為廣泛的陶瓷基板打孔設(shè)備,它具有高精度、高效率、非接觸等優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。

售前咨詢熱線:183 188 97810
郵箱:sales@nbilaser.com
  • 適用產(chǎn)品 / Applicable Product

    LTCC、HTCC 的生瓷基板加工。

    設(shè)備簡(jiǎn)介/ Equipment Introduction

    陶瓷基板激光打孔機(jī)是目前應(yīng)用較為廣泛的陶瓷基板打孔設(shè)備,它具有高精度、高效率、非接觸等優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。

    標(biāo)配功能 / Standard Functions

    自動(dòng)上下料系統(tǒng)、視覺對(duì)位系統(tǒng),激光打孔系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、吸塵系統(tǒng)、軟件控制系統(tǒng)等。

    技術(shù)參數(shù) / Technical Parameters

    名稱規(guī)格
    單平臺(tái)尺寸≥300mm*300mm
    激光可加工區(qū)域≥280mm*280mm
    激光波長(zhǎng)355nm
    激光平均功率≥15W
    單脈沖能量≥300μJ
    脈沖寬度<25ns
    X/Y/Z軸重復(fù)精度±1μm
    生瓷片180mm×180mm范圍內(nèi)通孔位置精度優(yōu)于±15μm
    CCD對(duì)位精度優(yōu)于±15μm
    下料、上料間隔時(shí)間≤10s
    加工速度(雙激光頭)≥3600孔/分鐘(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔)
    通孔錐度優(yōu)于94%,(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔)
    通孔圓度優(yōu)于95%(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔)
    最小加工孔徑0.08mm(0.15mm綠色HTCC生瓷片)
    最大加工厚度1.2mm,上下面尺寸差小于0.03mm(綠色HTCC生瓷片,2mm*2mm方腔)

相關(guān)應(yīng)用