陶瓷基板激光打孔機(jī)是目前應(yīng)用較為廣泛的陶瓷基板打孔設(shè)備,它具有高精度、高效率、非接觸等優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。
LTCC、HTCC 的生瓷基板加工。
陶瓷基板激光打孔機(jī)是目前應(yīng)用較為廣泛的陶瓷基板打孔設(shè)備,它具有高精度、高效率、非接觸等優(yōu)點(diǎn),可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的孔徑和孔距控制,適用于各種陶瓷基板的精密打孔需求。
自動(dòng)上下料系統(tǒng)、視覺對(duì)位系統(tǒng),激光打孔系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、吸塵系統(tǒng)、軟件控制系統(tǒng)等。
名稱 | 規(guī)格 |
單平臺(tái)尺寸 | ≥300mm*300mm |
激光可加工區(qū)域 | ≥280mm*280mm |
激光波長(zhǎng) | 355nm |
激光平均功率 | ≥15W |
單脈沖能量 | ≥300μJ |
脈沖寬度 | <25ns |
X/Y/Z軸重復(fù)精度 | ±1μm |
生瓷片180mm×180mm范圍內(nèi)通孔位置精度 | 優(yōu)于±15μm |
CCD對(duì)位精度 | 優(yōu)于±15μm |
下料、上料間隔時(shí)間 | ≤10s |
加工速度(雙激光頭) | ≥3600孔/分鐘(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
通孔錐度 | 優(yōu)于94%,(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
通孔圓度 | 優(yōu)于95%(0.34mm綠色HTCC生瓷片,0.15mm通孔) |
最小加工孔徑 | 0.08mm(0.15mm綠色HTCC生瓷片) |
最大加工厚度 | 1.2mm,上下面尺寸差小于0.03mm(綠色HTCC生瓷片,2mm*2mm方腔) |